[发明专利]二取代炔六羰基二钴化合物、其制备方法和使用方法在审
| 申请号： | 201711050452.0 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN108017679A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | A·C·库珀;S·V·伊万诺夫;金武性 | 申请（专利权）人： | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
| 主分类号： | C07F15/06 | 分类号： | C07F15/06;C23C16/16;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/42;C23C16/455;C23C16/50;H01L23/29 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华;徐志明 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的是钴化合物、用于制备钴化合物的方法，用作用于沉积含钴膜(例如钴、氧化钴、氮化钴、硅化钴等)的前体的钴化合物和含钴膜。钴前体化合物的实例是(二取代炔)六羰基二钴化合物。用于沉积含金属膜的表面的实例包括但不限于金属、金属氧化物、金属氮化物和金属硅化物。用于形成钴配合物的具有烷基如直链烷基和支链烷基的二取代炔配体用于获得在某些表面上的选择性沉积和/或优异的膜性质(例如均匀性、连续性和低电阻)。 | ||
| 搜索关键词： | 取代 羰基 化合物 制备 方法 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有下式的二取代炔六羰基二钴化合物：Co2 (CO)6 (R1 C≡CR2 )；其中，R1 是叔烷基，且R2 选自具有至少两个碳原子的直链烷基、异丙基和异丁基。
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