[发明专利]高强度ITO靶材坯体的制备方法

摘要

本发明公开了一种高强度ITO靶材坯体的制备方法，包括制备预混液、制备浆料、注浆成型以及坯体脱模干燥的步骤，所述浆料中含有以下重量份数的组分纯度为99.99%以上、比表面积为1~10m2/g的ITO粉1000份，水150~250份，分散剂5~20份，粘接剂0.5~3份，消泡剂1~10份，塑化剂1~20份；所述浆料制备的过程中采用球磨和砂磨结合的方式进行研磨。采用本发明制备的靶材坯体具有密度高、坯体内粒度小而均匀、无气泡、无开裂、无分层的优点，大大提高了靶材坯体的成品率。

主权项

一种高强度ITO靶材坯体的制备方法，包括制备预混液、制备浆料、注浆成型以及坯体脱模干燥的步骤，其特征在于，所述浆料中含有以下重量份数的组分：纯度为99.99%以上、比表面积为1~10m2/g的ITO粉1000份，水150~250份，分散剂5~20份，粘接剂0.5~3份，消泡剂1~10份，塑化剂1~20份；采用上述浆料制备ITO靶材坯体的具体方法包括以下步骤：制备预混液，在水中依次加入分散剂和粘接剂，采用氨水调节pH值为8~10，混合均匀，得到预混液；制备浆料，在预混液中加入ITO粉并转移至球磨罐中进行湿法研磨40h，球磨罐中球磨机的转速为200~300r/min；球磨均匀后，将混合均匀液体转移至砂磨机中，加入消泡剂和塑化剂进行湿法研磨，砂磨机的转速为1000~2000r/min，泵浦压力为0.3~0.5MPa；研磨至粘度为50~300mPa·S时获得ITO靶材浆料；注浆成型，将ITO靶材浆料抽真空脱泡后，置于石膏磨具中浇筑成型，石膏磨具采用双面吸浆，依靠模具的毛细空吸附浆料中的水而固化成型，期间需不断地补充ITO靶材浆料，直至体积不再变化为止；坯体脱模干燥，浇筑完成后，模具静置放置2~3h后即固化成型，成型后脱模，脱模干燥得到高致密度的ITO靶材坯板。