[发明专利]一种ECR离子刻蚀加工表面织构并精确控制织构尺寸方法有效
| 申请号： | 201711058082.5 | 申请日： | 2017-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN107857234B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 陈思成;杨雷;刁东风;郭美玲 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;C23C14/06;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ECR离子刻蚀加工表面织构并精确控制织构尺寸方法，利用ECR等离子体加工系统，通过调节掩模版的孔径尺寸及离子刻蚀时间，可实现表面织构的参数调控。利用共聚焦显微镜对织构形貌进行表征可发现，织构直径为10～120μm可调，且深度与刻蚀时间成正相关，刻蚀速率为1nm/min，加工后样品的摩擦磨损性能获得大幅度提高，便于实现表面织构的加工并精确控制织构尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ecr 离子 刻蚀 加工 表面 精确 控制 尺寸 方法 | ||
【主权项】：
一种ECR离子刻蚀加工表面织构并精确控制织构尺寸方法，其特征在于，利用ECR等离子体加工系统对已沉积的碳膜进行表面织构加工，通过调节掩模版的孔径尺寸及离子刻蚀时间，实现表面织构的参数调控；利用共聚焦显微镜对织构形貌进行表征，确定织构的直径为10～120μm，制备摩擦系数在0.18～0.06，磨损寿命为10000圈以上的织构化碳膜。
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