[发明专利]一种多晶硅铸锭用致密高纯层的制备方法在审
| 申请号： | 201711058294.3 | 申请日： | 2017-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN107840647A | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 陈修华;谢炎;宾际云;李江岑 | 申请（专利权）人： | 烟台核晶陶瓷新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/14 | 分类号： | C04B35/14;C04B35/624 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司31253 | 代理人： | 孙福岭 |
| 地址： | 265300 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅铸锭用致密高纯层的制备方法，所述工艺方法如下料浆制备取高纯石英砂按照一定颗粒级配放入水中，并加入凝胶单体、交联剂及分散剂进行球磨得到高纯料浆；料浆喷涂将石英坩埚加热到一定温度，使用喷涂装置，将高纯料浆和引发剂同时喷涂到坩埚内表面；凝胶化将喷完高纯的坩埚进行微波干燥，使其充分凝胶化；高温烧结将凝胶化后的石英坩埚放置到烧结炉中，将烧结炉温度升高到800℃进行烧结，烧掉高纯涂层里的有机物，得到高纯涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 致密 高纯 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭用致密高纯层的制备方法，其特征在于：所述工艺方法如下：1)料浆制备：取高纯石英砂按照一定颗粒级配放入水中，并加入凝胶单体、交联剂及分散剂进行球磨得到高纯料浆；2)料浆喷涂：将石英坩埚加热到200‑320℃，使用喷涂装置，将高纯料浆和引发剂同时喷涂到坩埚内表面；3)凝胶化：将喷完高纯的坩埚进行微波干燥，使其充分凝胶化；4)高温烧结：将凝胶化后的石英坩埚放置到烧结炉中，将烧结炉温度升高到800‑1200℃进行烧结，烧掉高纯涂层里的有机物，得到高纯涂层。
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