[发明专利]测试高功率紫外激光器M2 有效
| 申请号： | 201711059474.3 | 申请日： | 2017-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN107870081B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 徐方华;王杰;郭丽;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 石佩 |
| 地址： | 518051 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种测试高功率紫外激光器M |
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| 搜索关键词： | 测试 功率 紫外 激光器 base sup | ||
【主权项】：
一种测试高功率紫外激光器M2因子的检测装置，其特征在于，包括激光器调节座、光路衰减系统和M2因子测量仪；所述激光器调节座用于调节待测激光器的激光出射方向，以将待测激光器的激光经所述光路衰减系统传输至所述M2因子测量仪进行M2因子测试；所述检测装置还包括第一小孔光阑、第二小孔光阑、第一全反镜和第二全反镜，所述第一小孔光阑和所述第二小孔光阑可拆卸地设置于所述光路衰减系统中，用于校准待测激光器的激光经所述光路衰减系统传输至所述M2因子测量仪的光路；所述第一全反镜和第二全反镜的反射面相对设置，且可相对转动，以对待测激光器的激光入射所述光路衰减系统的方向进行调节。
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