[发明专利]钛靶热等静压焊接方法及制备的靶材在审
| 申请号： | 201711061449.9 | 申请日： | 2017-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN107745177A | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;范文新;仝连海 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/00 | 分类号： | B23K20/00;B23K20/24;B23K103/18 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 李进 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种钛靶热等静压焊接方法及制备的靶材，属于靶材技术领域。钛靶热等静压焊接方法，包括如下步骤将钛靶的钛焊接面进行粗加工。将铝背板的铝焊接面进行粗加工，在铝焊接面上设置铝槽。将粗加工后的钛靶和开设铝槽后的铝背板放入IPA液中进行超声清洗，并进行真空干燥。将钛靶放入铝槽内，并放入包套中进行抽真空处理。将包套放入热等静压炉中进行热等静压焊接。此焊接方法可以节约加工时间，避免加工材料的浪费并缩短焊接时间。通过此方法制备的靶材强度较高，满足半导体溅射靶材使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 钛靶热 静压 焊接 方法 制备 | ||
【主权项】：
一种钛靶热等静压焊接方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)、将钛靶的钛焊接面进行粗加工；(2)、将铝背板的铝焊接面进行粗加工，在铝焊接面上设置铝槽；(3)、将粗加工后的所述钛靶和开设铝槽后的所述铝背板放入IPA液中进行超声清洗，并进行真空干燥；(4)、将所述钛靶放入所述铝槽内，并放入包套中进行抽真空处理；(5)、将所述包套放入热等静压炉中进行热等静压焊接。
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