[发明专利]一种窄空间封闭超高真空腔室系统在审
| 申请号： | 201711063324.X | 申请日： | 2017-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN107833822A | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 孟文杰;陆轻铀 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01J49/24 | 分类号： | H01J49/24 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所11569 | 代理人： | 王加贵 |
| 地址： | 230000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种窄空间封闭超高真空腔室系统，包括主腔室、直通阀和差分旋转进动器，所述主腔室与所述直通阀的外部密封焊接，所述直通阀与所述差分旋转进动器密封连接。本发明提供的窄空间封闭超高真空腔室系统，其结构简单紧凑，抽真空结构完成工作后可进行拆卸，可方便植入窄空间低温容器，例如低温孔径超导磁体、液氦杜获、低温恒温器等科研单位常用低温装置，并实现对腔内设备更高的降温功率，获得低振动的超高真空环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空间 封闭 超高 空腔 系统 | ||
【主权项】：
一种窄空间封闭超高真空腔室系统，其特征在于：包括主腔室、直通阀和差分旋转进动器，所述主腔室与所述直通阀的外部密封焊接，所述直通阀与所述差分旋转进动器密封连接。
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