[发明专利]一种石墨盘

摘要

本发明实施例公开了一种石墨盘，该石墨盘包括：第一石墨盘和至少一个第二石墨盘；第一石墨盘上设有用于放置第二石墨盘的至少一个凹槽，凹槽底部设置有螺旋型通气轨道槽，凹槽底部中心还设置有用于固定第二石墨盘的支撑柱；第二石墨盘的底部中心设置有与支撑柱匹配的固定槽，第二石墨盘通过固定槽固定在第一石墨盘的凹槽的支撑柱上；第二石墨盘包括片槽和片槽挡墙，片槽挡墙上设置有多个凹槽结构，任意相邻两个凹槽结构之间存在间隔。本发明实施例提供的石墨盘，提高了第二石墨盘的片槽边缘与片槽中心的温度场的均匀性，使气流可以更好的流过放置在第二石墨盘中的衬底的表面，衬底上的外延层边缘生长效果好，厚度均匀，外延层的质量更好。

主权项

一种石墨盘，其特征在于，包括：第一石墨盘和至少一个第二石墨盘；所述第一石墨盘上设有用于放置所述第二石墨盘的至少一个凹槽，所述凹槽底部设置有螺旋型通气轨道槽，所述凹槽底部中心还设置有用于固定所述第二石墨盘的支撑柱；所述第二石墨盘的底部中心设置有与所述支撑柱匹配的固定槽，所述第二石墨盘通过所述固定槽固定在所述第一石墨盘的凹槽的支撑柱上；所述第二石墨盘包括片槽和片槽挡墙，所述片槽挡墙上设置有多个凹槽结构，任意相邻两个所述凹槽结构之间存在间隔。