[发明专利]用于杆状金属零件表面的真空镀膜装置及镀膜方法

摘要

本发明涉及金属工件防腐蚀技术领域，具体涉及用于杆状金属零件表面的真空镀膜装置及镀膜方法，两靶交替进行工作，避免了靶材中毒的情况，充分结合了磁控溅射放电和空心阴极放电的特点，相对于传统磁控溅射方法，具有沉积速率高的优点；溅射镀膜过程在溅射靶材以及端面法兰围成的空腔内完成，无需额外真空室结构及复杂的运动机构，即可完成防腐蚀镀层的制备过程。另外，由于溅出的材料被约束在溅射靶材和溅射挡板所形成的管状结构内，靶材利用率高，且不会对其它工件造成污染。

主权项

用于杆状金属零件表面的真空镀膜装置，包括磁控溅射源及溅射电源，其特征在于：所述磁控溅射源包括套筒、端面法兰、绝缘法兰及定位法兰；所述套筒包括结构相同且对称设置的左套筒和右套筒，相对端设置有端面法兰，端面法兰之间设置有绝缘法兰，两侧的端面法兰和中间的绝缘法兰通过螺栓和螺母压紧连接，绝缘法兰和端面法兰之间还设置有密封件；所述左套筒和右套筒的外端也设置有端面法兰，端面法兰内侧设置有防溅套，端面法兰外侧设置有过渡法兰，过渡法兰和端面法兰之间设置有绝缘法兰，绝缘法兰与过渡法兰和端面法兰之间还设置有密封件，绝缘法兰、过渡法兰和端面法兰通过螺栓和螺母压紧连接；所述过渡法兰外侧还连接有定位法兰，定位法兰的法兰盘螺栓连接成型，之间设置有密封件；所述套筒分为外层的外筒和内侧的内筒，外筒和内筒之间设置有多圈环形磁铁；所述内筒内壁上设置有溅射靶材；所述过渡法兰还设置有通气接口。