[发明专利]复合材料制作设备在审
| 申请号： | 201711070262.5 | 申请日： | 2017-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN107630192A | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 谢宏林 | 申请（专利权）人： | 惠州市宏策企业管理咨询有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙)44349 | 代理人： | 陶远恒 |
| 地址： | 516006 广东省惠州市仲恺高新区陈*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种复合材料制作设备，包括激光源、至少两个驱动机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述至少两个驱动机构分别与所述至少两个第一反射镜一一对应地连接，所述至少三个第一反射镜分别与所述至少两个第一固定平台对应，所述驱动机构用于驱动对应所述第一反射镜移动以避开所述激光源发出的激光，使得所述激光源发出的激光射至对应的第一反射镜处。 | ||
| 搜索关键词： | 复合材料 制作 设备 | ||
【主权项】：
一种复合材料制作设备，其特征在于，包括激光源、至少两个驱动机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈45度夹角；所述至少两个驱动机构分别与所述至少两个第一反射镜一一对应地连接，所述至少三个第一反射镜分别与所述至少两个第一固定平台对应，所述驱动机构用于驱动对应所述第一反射镜移动以避开所述激光源发出的激光，使得所述激光源发出的激光射至对应的第一反射镜处，该对应的第一反射镜将该激光反射至对应的所述第一固定平台处。
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