[发明专利]一种双腔单振子压电泵

摘要

本发明公布了一种双腔单振子压电泵，包括上泵体、中泵体、下泵体、双晶片压电振子、瓣膜阀；上、下泵体各有一个泵腔入口，在入口处安装瓣膜阀，下泵体和上泵体通过中泵体进行连接，在中泵体和下泵体之间安装双晶片压电振子，里侧的两个对称出口腔完全位于下泵体，外侧的两个对称出口腔通过中泵体出口腔和上泵体出口腔进行连通；施加交流电信号于双晶片压电振子，双晶片压电振子在电信号的刺激下产生弯曲变形，使上下泵体两个泵腔的容积产生交替性变化，利用容积的变化产生泵腔内外的压力差实现液体的吸入与输出。本发明具有输出液体流量大、阻回流效果好等优势，在微型机器人、药物运输等领域具有广阔的应用前景。

主权项

一种双腔单振子压电泵，其特征在于：所述主泵包括上泵体(1)、中泵体(2)和下泵体(3)叠合组成，所述中泵体(2)下部和下泵体(3)上部之间安放一个双晶片压电振子(4)，所述上泵体(1)和中泵体(2)之间及中泵体(2)和下泵体(3)之间分别设置一个泵腔，所述上泵体(2)与中泵体(3)之间通过密封圈(7)进行密封，所述下泵体与中泵体(2)之间对双晶片压电振子(4)进行胶粘密封，所述上、下泵体分别设置一个环形开口槽(1－1)结构和环形槽(3－1)结构，利用瓣膜阀(5)作为单向阀，通过胶粘密封，所述下泵体(3)内侧设置两边对称的漏斗状出口腔(3－3)，所述下泵体(3)出口腔一侧开设有导线孔(3－5)，所述下泵体(3)外侧设置对称的出口腔(3－6)，出口腔与中泵体(2)和上泵体(1)的腔道进行连接，所述上泵体(1)、中泵体(2)和下泵体(3)分别圆周阵列四个螺纹孔，通过紧固螺钉(6)和紧固螺母(8)使上泵体(1)、中泵体(2)和下泵体(3)进行叠合组成一个整体。