[发明专利]混合集成Michelson式光纤微流芯片

摘要

本发明涉及的是一种微流物质通道与光波通道混合集成的双芯光纤微流芯片，这种光纤微流芯片是将微流物质通道和倏逝感测光场以及微型光学干涉仪集成在一根光纤上，其主要特征是：(一)该光纤微流芯片包含一个或多个空气孔作为微流物质通道，还包含两个纤芯作为光波导通道，其中一个纤芯与微流物质通道紧邻，另一个纤芯远离微流物质通道；(二)该光纤微流芯片的两端或一端分别通过加热的办法实施了拉锥处理，从而在光纤内部构成了一个光学Michelson干涉仪，与微流物质通道紧邻的纤芯构成了干涉仪的测量臂，而远离微流物质通道的纤芯则构成了干涉仪的参考臂；(三)该光纤微流芯片的通道两端垂直于光纤表面开有两个微孔，作为微流物质的输入和输出通道。

主权项

1.一种微流物质通道与光波通道混合集成的双芯光纤微流芯片，这种光纤微流芯片是将微流物质通道和倏逝感测光场以及微型光学干涉仪集成在一根光纤上，可实现流体物质中的浓度、折射率、化学物质等的实时监测与在线测量，其主要特征是：(一)所述光纤微流芯片包含一个或多个空气孔1‑1作为微流物质通道，还包含两个纤芯1‑2和1‑3作为光波导通道，纤芯1‑2与微流物质通道紧邻，以便纤芯1‑2中光波的倏逝场与微流物质发生相互作用，纤芯1‑3远离微流物质通道，可作为光波的参考或对比通道，如图1所示；(二)该光纤微流芯片的一端通过加热的方法实施了拉锥处理，形成了光纤内的耦合器2‑4，另一端镀有高反射金属膜或多层介质反射膜2‑5，从而在光纤内部构成了一个光学Michelson干涉仪，与微流物质通道2‑1紧邻的纤芯2‑2构成了干涉仪的测量臂，而远离微流物质通道的纤芯2‑3构成了干涉仪的参考臂，如图2所示；(三)该光纤微流芯片的微流物质通道靠近锥体耦合处垂直于光纤表面开有一个微孔，作为微流物质的输入通道2‑6，而另一端的微流物质通道开放端则作为输出通道。