[发明专利]一种剔除灰尘影响的镜面物体表面缺陷检测系统及方法

摘要

本发明公开了一种剔除灰尘影响的镜面物体表面缺陷检测系统及方法，属于光学成像技术领域。本发明在传统基于调制度分析原理的斜投斜拍式检测系统中引入检偏装置，基于线偏振结构光经灰尘散射发生偏振态改变的原理，实现了识别镜面物体的表面灰尘信息，故而通过与缺陷及灰尘分布信息图对比分析，即可得到剔除灰尘影响的待测镜面物体表面缺陷信息。本发明检测系统结构紧凑，克服了传统检测需要大量人工检测的局限性；避免了复杂的标定过程，也无需积分重建待测物体的高度信息，避免了积分算法带来的误差；同时，解决了传统基于调制度原理的检测系统存在点缺陷与灰尘点难以区分的问题；因此本发明检测系统和检测方法具有准确、简单、快速和实用的优势。

主权项

1.一种剔除灰尘影响的镜面物体表面缺陷检测系统，包括：检偏模块，图像采集模块和图像数据处理设备，图像采集模块与待测物体之间设置有检偏模块；其特征在于：还包括结构光照明模块，结构光照明模块、待测物体表面及图像采集模块三者在空间上的位置构成斜投斜拍方式，使得光线在待测物体表面成像；结构光照明模块能够分步输出线偏振结构光和编码结构光，图像采集模块能够分步采集经检偏模块输出的线偏振结构光和经待测物体调制后的变形编码结构光，并通过后端图像数据处理模块处理。/n