[发明专利]复合材料沉积系统在审
| 申请号： | 201711071774.3 | 申请日： | 2017-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN107620039A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 谢宏林 | 申请（专利权）人： | 惠州市宏策企业管理咨询有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙)44349 | 代理人： | 陶远恒 |
| 地址： | 516006 广东省惠州市仲恺高新区陈*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种复合材料沉积系统，包括激光源、一驱动机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述激光源连接以驱动所述激光源移动，使得所述激光源发出的激光选择性地射入至所述至少两个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处。 | ||
| 搜索关键词： | 复合材料 沉积 系统 | ||
【主权项】：
一种复合材料沉积系统，其特征在于，包括激光源、一驱动机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述激光源连接以驱动所述激光源移动，使得所述激光源发出的激光选择性地射入至所述至少两个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处；还包括一第二固定平台，所述至少两个第一固定平台固定设置于所述第二固定平台上；还包括一控制组件，所述控制组件与所述激光源以及所述驱动机构电连接。
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