[发明专利]基于可见光的复合材料沉积系统在审
| 申请号： | 201711072297.2 | 申请日： | 2017-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN107630196A | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 谢宏林 | 申请（专利权）人： | 惠州市宏策企业管理咨询有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙)44349 | 代理人： | 陶远恒 |
| 地址： | 516000 广东省惠州市仲恺高新区陈*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于可见光的复合材料沉积系统，其包括激光源、至少两个升降机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述至少两个升降机构分别与所述至少两个第一反射镜一一对应地连接，所述至少三个第一反射镜分别与所述至少两个第一固定平台对应，所述升降机构用于调整对应所述第一反射镜的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 可见光 复合材料 沉积 系统 | ||
【主权项】：
一种基于可见光的复合材料沉积系统，其特征在于，包括激光源、至少两个升降机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部；所述至少两个升降机构分别与所述至少两个第一反射镜一一对应地连接，所述至少三个第一反射镜分别与所述至少两个第一固定平台对应，所述升降机构用于调整对应所述第一反射镜的高度以避开所述激光源发出的激光，使得所述激光源发出的激光射至对应的第一反射镜处，该对应的第一反射镜将该激光反射至对应的所述第一固定平台处;还包括一控制组件，所述控制组件与所述激光源以及所述升降机构电连接；还包括用于提供惰性气体的储气结构以及用于抽出惰性气体的真空泵；所述真空室的侧壁上开设进气孔以及出气孔，所述储气结构通过所述进气孔与所述真空室连通，所述真空泵通过所述出气孔与所述真空室连通；还包括气压传感器，所述气压传感器、所述储气结构以及所述真空泵分别与所述控制组件电连接;还包括一第二固定平台，所述至少两个第一固定平台固定设置于所述第二固定平台上。
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