[发明专利]用于批量合成复合材料的激光沉积设备在审
| 申请号： | 201711072891.1 | 申请日： | 2017-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN107620043A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 谢宏林 | 申请（专利权）人： | 惠州市宏策企业管理咨询有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙)44349 | 代理人： | 陶远恒 |
| 地址： | 516000 广东省惠州市仲恺高新区陈*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于批量合成复合材料的激光沉积设备，包括激光源、驱动机构、第一反射镜、第二反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及所述基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述第二反射镜与所述第一反射镜平行，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述第二反射镜连接，以驱动所述第二反射镜沿着垂直于所述激光源的出光方向的方向移动至对应位置，所述第一反射镜用于将所述激光源发出的激光反射对应位置的所述第二反射镜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 批量 合成 复合材料 激光 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种用于批量合成复合材料的激光沉积设备，其特征在于，包括激光源、驱动机构、第一反射镜、第二反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及所述基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述第二反射镜与所述第一反射镜平行，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈45度夹角；所述驱动机构与所述第二反射镜连接，以驱动所述第二反射镜沿着垂直于所述激光源的出光方向的方向移动至对应位置，所述第一反射镜用于将所述激光源发出的激光反射对应位置的所述第二反射镜，进而使得所述第二反射镜将第一反射镜反射的激光通过所述通光部反射至对应的所述第一固定平台;还包括一第二固定平台，所述至少两个第一固定平台固定设置于所述第二固定平台上;所述真空室的壁上设置有至少两个通孔，所述通光部包括覆盖在所述至少两个通孔处的至少两个石英玻璃。
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