[发明专利]一种微波等离子体的温度控制方法及设备在审
| 申请号： | 201711076959.3 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN107708283A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 刘程;张贵新;黄诗洋;谢宏;邓磊 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司11508 | 代理人： | 曹晓斐 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及微波等离子体领域，提供一种微波等离子体的温度控制方法及设备。其中微波等离子体的温度控制方法包括如下步骤调节微波功率，在微波激发区产生微波等离子体；在微波激发区吹入工作气体，微波等离子体羽流伸出激发区；调整工作气体的组分配比，选择合适的温度区域；选择微波等离子体羽流的不同位置，调节温度区域。以解决现有技术中采用功率调节等离子体温度出现的不稳定情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 等离子体 温度 控制 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种微波等离子体的温度控制方法，其特征在于，包括如下步骤：调节微波源的微波功率，在微波激发区产生微波等离子体；采用混合工作气体，向微波激发区吹入混合工作气体，使微波等离子体形成微波等离子体羽流。
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