[发明专利]一种倾斜反射镜系统

摘要

本发明提供了一种倾斜反射镜系统，包括：主控制器，用于根据目标偏转角度生成第一控制信号控制第一驱动装置产生微位移以带动反射镜装置以第一角度偏转；第一测量装置，用于根据第一驱动装置产生的第一位移得到反射镜装置的第一偏转角度；主控制器还用于，在检测到第一偏转角度与目标偏转角度不匹配时，根据第一偏转角度与目标偏转角度的差值生成第二控制信号控制第二驱动装置产生微位移以带动反射镜装置以第二角度偏转；反射镜装置，用于经过第一角度偏转和第二角度偏转对入射光进行实时反射校正，以在周期迭代后使得入射光的偏转角度达到目标偏转角度，实现了高精度、高带宽、大行程的角度倾斜校正，实用性较佳。

主权项

1.一种倾斜反射镜系统，其特征在于，包括：主控制器、第一驱动装置、第二驱动装置、第一测量装置和反射镜装置；所述主控制器，用于根据目标偏转角度，生成第一控制信号；根据所述第一控制信号控制所述第一驱动装置产生微位移；所述第一驱动装置产生微位移带动所述反射镜装置以第一角度偏转；所述第一测量装置，用于检测所述第一驱动装置产生的第一位移，根据所述第一位移得到所述反射镜装置的第一偏转角度；所述主控制器还用于，在检测到所述第一偏转角度与目标偏转角度不匹配时，根据所述第一偏转角度与所述目标偏转角度的差值，生成第二控制信号；根据所述第二控制信号控制所述第二驱动装置产生微位移；所述第二驱动装置产生微位移带动所述反射镜装置以第二角度偏转；所述反射镜装置，用于经过第一角度偏转和第二角度偏转对入射光进行实时反射校正，以在周期迭代后使得所述入射光的偏转角度达到所述目标偏转角度；还包括第二测量装置，所述第二测量装置，用于检测所述第二驱动装置的位移量，根据所述位移量得到第二偏转角度；所述主控制器还用于，在所述第一偏转角度和所述第二偏转角度的总偏转角度与所述目标偏转角度不匹配时，根据所述第一偏转角度与所述第二偏转角度之和与所述目标偏转角度的差值，生成下一周期的第二控制信号；还包括高压放大装置；所述高压放大装置，用于对所述第一控制信号进行放大，并将放大后的所述第一控制信号发送至所述第一驱动装置，以及对所述第二控制信号进行放大，并将放大后的所述第二控制信号发送至所述第二驱动装置；所述反射镜装置包括第一反射镜和第二反射镜；所述第一驱动装置，用于根据放大后的所述第一控制信号控制自身按照第一工作参数产生微位移，以根据所述微位移带动所述第一反射镜以第一角度偏转；所述第二驱动装置，用于根据放大后的所述第二控制信号控制自身按照第二工作参数产生微位移，以根据所述微位移带动所述第二反射镜以第二角度偏转。