[发明专利]一种微米级碳化硼粗磨液、其制备方法及其应用有效
申请号: | 201711079112.0 | 申请日: | 2017-11-06 |
公开(公告)号: | CN109749630B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 周群飞;赵碧云 | 申请(专利权)人: | 蓝思科技(长沙)有限公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵青朵 |
地址: | 410100 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明提供了一种微米级碳化硼粗磨液、其制备方法及其应用,粗磨液包括粒径为20~80μm的碳化硼粉末20~40wt%;分散稳定剂1~5wt%;辅助氧化剂0.4~1.6wt%;络合剂0.5~1.5wt%;成膜剂0.1~1.4wt%;pH值调节剂0.5~1.6wt%;余量为水;分散稳定剂选自气相二氧化硅、水性氧化铝、羟丙基甲基纤维素、羧甲基纤维素、聚丙烯酸钠、聚丙烯酰胺、聚乙烯醇、聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600、甘油、六偏磷酸钠中的一种或几种;辅助氧化剂选自柠檬酸、苯甲酸和草酸中的一种或几种。粗磨液悬浮稳定性较好,粗磨产品良率较高。粗磨产品表面的晶片厚度差和粗糙度更小,降低加工难度。 | ||
搜索关键词: | 一种 微米 碳化 硼粗磨液 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
1.一种微米级碳化硼粗磨液,以质量分数计,包括以下组分:粒径为20~80μm的碳化硼粉末20~40wt%;分散稳定剂1~5wt%;辅助氧化剂0.4~1.6wt%;络合剂0.5~1.5wt%;成膜剂0.1~1.4wt%;pH值调节剂0.5~1.6wt%;余量为水;所述分散稳定剂选自气相二氧化硅、水性氧化铝、羟丙基甲基纤维素、羧甲基纤维素、聚丙烯酸钠、聚丙烯酰胺、聚乙烯醇、聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600、甘油和六偏磷酸钠中的一种或几种;所述辅助氧化剂选自柠檬酸、苯甲酸和草酸中的一种或几种。
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