[发明专利]表面波等离子体设备有效
| 申请号： | 201711079357.3 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN109755088B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘春明;赵晋荣 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面波等离子体设备，包括依次相连的微波产生装置、微波传输装置和反应腔室，微波产生装置用于产生形成表面波等离子体的微波，微波传输装置包括波导和微波天线，微波天线包括基片集成波导和金属隔离件，金属隔离件将基片集成波导划分为至少两个子基片集成波导，波导的数量和子基片集成波导的数量相等且二者对应相连，微波产生装置产生的微波经由各个波导和与该波导对应的子基片集成波导耦合至反应腔室的不同区域，并且，通过分别调节耦合至反应腔室不同区域的微波功率，以使得在反应腔室内的不同区域形成均匀的表面波等离子体。可以调节扩散至位于晶片上方的表面波等离子体的密度分布，满足大面积晶片处理均匀性的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 等离子体 设备 | ||
【主权项】：
1.一种表面波等离子体设备，所述表面波等离子体设备包括依次相连的微波产生装置、微波传输装置和反应腔室，所述微波产生装置用于产生形成表面波等离子体的微波，其特征在于，所述微波传输装置包括波导和微波天线，所述微波天线包括基片集成波导和金属隔离件，所述金属隔离件将所述基片集成波导划分为至少两个子基片集成波导，所述波导的数量和所述子基片集成波导的数量相等且二者一一对应相连，所述微波产生装置产生的微波经由各个所述波导和与该波导对应的所述子基片集成波导耦合至所述反应腔室的不同区域，并且，通过分别调节耦合至所述反应腔室不同区域的微波功率，以使得在所述反应腔室内的不同区域形成均匀的表面波等离子体。
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