[发明专利]基板承载装置及烘烤设备

摘要

本发明提供了一种基板承载装置，包括多层承载架以及与承载架连接驱动的升降机构，所述升降机构与承载架一一对应设置，升降机构用于调节每层承载架与相邻承载架之间的间距。本发明还提供了一种烘烤设备，包括烘烤室，所述烘烤室内设有所述的基板承载装置，所述烘烤室设有基板进入口，所述升降机构设于烘烤室与基板进入口相对的一侧内壁上。与现有技术相比，通过设置与承载架一一对应设置的升降机构，实现相邻两层承载架的间距可调节，满足机器人手臂的交换片所需空间高度的要求；同时还可以使烘烤设备中放置的基板数量提高，从而提高设备的产能，降低设备的采购成本以及占地空间。

主权项

一种基板承载装置，其特征在于：包括多层承载架(1)以及与承载架(1)连接驱动的升降机构(2)，所述升降机构(2)与承载架(1)一一对应设置，升降机构(2)用于调节每层承载架(1)与相邻承载架(1)之间的间距。