[发明专利]一种基于超导连接的轴向梯度计的制造装置及方法

摘要

本发明提供一种基于超导连接的轴向梯度计的制造装置及方法，所述轴向梯度计包括SQUID芯片和梯度线圈，所述制造装置包括铌线退火设备和铌线键合设备；所述铌线退火设备用于对铌线进行退火操作；所述铌线键合设备用于将退火后的铌线分别超声键合在所述SQUID芯片和所示梯度线圈上，以实现所述SQUID芯片和所述梯度线圈之间的超导连接。本发明的基于超导连接的轴向梯度计的制造装置及方法通过超导连接的方式制造一体式轴向梯度计模块，极大地提升了轴向梯度计的性能。

主权项

1.一种基于超导连接的轴向梯度计的制造装置，其特征在于：所述轴向梯度计包括SQUID芯片和梯度线圈，所述制造装置包括铌线退火设备和铌线键合设备；所述铌线退火设备用于对铌线进行退火操作；所述铌线键合设备用于将退火后的铌线分别超声键合在所述SQUID芯片和所述梯度线圈上，以实现所述SQUID芯片和所述梯度线圈之间的超导连接；所述铌线退火设备包括真空腔、机械支架、机械泵、分子泵、电阻规、电离规、电阻规示数表、电离规示数表、转速表和稳压直流电源；所述真空腔的顶部设置有正负电极，腔壁上设置有进气口；所述正负电极的一端与所述稳压直流电源的输出端相连，另一端与待退火的铌线相连；所述机械支架用于固定放置所述真空腔；所述机械泵用于对所述真空腔抽真空；所述分子泵用于对所述真空腔抽真空；所述电阻规设置在所述真空腔上，用于探测所述机械泵运行期间所述真空腔的真空度；所述电离规设置在所述真空泵上，用于探测所述分子泵运行期间所述真空腔的真空度；所述电阻规示数表与所述电阻规相连，用于显示所述电阻规探测到的真空度的数值；所述电离规示数表与所述电离规相连，用于显示所述电离规探测到的真空度的数值；所述转速表与所述分子泵相连，用于显示所述分子泵的转速；所述稳压直流电源与所述真空腔上的正负电极相连，用于提供铌线退火所需的稳压电流。