[发明专利]基于表面等离子体激元的可集成高带宽电光调制器

摘要

本发明提供一种基于表面等离子体激元的可集成高带宽电光调制器，包括衬底层，在衬底层上设置有相互平行的第一金属纳米条、第二金属纳米条和第三金属纳米条，至少在第一金属纳米条与第二金属纳米条之间的第一狭缝以及第二金属纳米条与第三金属纳米条之间的第二狭缝内填充有电光聚合物层；输入波导将输入的光信号传输至第一狭缝和第二狭缝，激发出表面等离子体激元，表面等离子体激元沿着金属纳米组合与电光聚合物层的交界面传播，电信号在被施加到电光聚合物层上后交界面的有效折射率发生变化，从而改变表面等离子体激元的传播条件，对应地表面等离子体激元在输出波导耦合输出的光信号也发生变化，从而实现高速高带宽电光调制。

主权项

一种基于表面等离子体激元的可集成高带宽电光调制器，其特征在于，包括衬底层，在所述衬底层上设置有金属纳米条组合，所述金属纳米条组合包括相互平行的第一金属纳米条、第二金属纳米条和第三金属纳米条，至少在所述第一金属纳米条与第二金属纳米条之间的第一狭缝以及所述第二金属纳米条与第三金属纳米条之间的第二狭缝内填充有电光聚合物层，所述电光聚合物层与电信号连接，在所述金属纳米条组合的一端设置有输入波导，另一端设置有输出波导，所述输入波导和输出波导的尖端结构与所述金属纳米条组合对应的端结构相对并匹配；所述输入波导用于输入光信号，所述光信号通过所述尖端结构被传输至所述第一狭缝和第二狭缝，激发出表面等离子体激元，所述表面等离子体激元沿着金属纳米组合与所述电光聚合物层的交界面传播，所述电信号在被施加到所述电光聚合物层上后所述交界面的有效折射率发生变化，从而改变所述表面等离子体激元的传播条件，对应地所述表面等离子体激元在所述输出波导耦合输出的光信号也发生变化，从而实现所述光信号的电光调制。