[发明专利]一种石墨薄片的制备装置在审
申请号: | 201711089117.1 | 申请日: | 2017-11-08 |
公开(公告)号: | CN109748272A | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 金闯 | 申请(专利权)人: | 太仓斯迪克新材料科技有限公司 |
主分类号: | C01B32/205 | 分类号: | C01B32/205 |
代理公司: | 苏州凯谦巨邦专利代理事务所(普通合伙) 32303 | 代理人: | 丁剑 |
地址: | 215400 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种石墨薄片的制备装置,适用于化学沉降法制备石墨薄片,包括一反应腔,所述反应腔具有一入口及一出口,所述入口及出口可分别设置于所述反应腔的相对侧以在所述反应腔内形成一反应通道;所述反应通道内设置有一便于石墨薄片自然沉积其上的基板。发明实施例提供的石墨薄片的制备装置能在应用化学气相沉积法生产的基础上,无须经历转移制程,以直接化沉积的方式在各种基板上沉积质量好、分布均匀且大面积的石墨薄片。 | ||
搜索关键词: | 石墨薄片 反应腔 制备装置 沉积 反应通道 基板 应用化学 气相沉积法 沉降 制程 出口 生产 | ||
【主权项】:
1.一种石墨薄片的制备装置,适用于化学沉降法制备石墨薄片,其特征在于,包括一反应腔,所述反应腔具有一入口及一出口,所述入口及出口可分别设置于所述反应腔的相对侧以在所述反应腔内形成一反应通道;所述反应通道内设置有一便于石墨薄片自然沉积其上的基板。
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