[发明专利]一种石墨薄片的制备方法在审
| 申请号： | 201711089120.3 | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN109748273A | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 金闯 | 申请（专利权）人： | 太仓斯迪克新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/205 | 分类号： | C01B32/205 |
| 代理公司： | 苏州凯谦巨邦专利代理事务所(普通合伙) 32303 | 代理人： | 丁剑 |
| 地址： | 215400 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨薄片的制备方法，包括以下步骤：将一基板设置于一反应腔，该反应腔具有一入口及一出口；提供一催化剂于该反应腔中；将该反应腔减压至3～5x10‑2毫米汞柱，再通入一还原性气体至该反应腔中；升温该反应腔至一沉积温度，其中该沉积温度介于750～920℃的间；将该反应腔升压至100～560毫米汞柱；通入一含碳气体于该反应腔中；以及该催化剂催化该含碳气体产生多个碳原子，该碳原子在蒸气状态下彼此撞击形成一石墨薄片。本发明实施例提供的石墨薄片的制备方法能在应用化学气相沉积法生产的基础上，无须经历转移制程，以直接化沉积的方式在各种基板上沉积质量好、分布均匀且大面积的石墨薄片。 | ||
| 搜索关键词： | 反应腔 石墨薄片 沉积 制备 含碳气体 催化剂 应用化学 还原性气体 气相沉积法 升压 个碳原子 基板设置 蒸气状态 减压 碳原子 基板 制程 催化 出口 生产 | ||
【主权项】：
1.一种石墨薄片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将一基板设置于一反应腔，该反应腔具有一入口及一出口；提供一催化剂于该反应腔中；将该反应腔减压至3～5x10‑2毫米汞柱，再通入一还原性气体至该反应腔中；升温该反应腔至一沉积温度，其中该沉积温度介于750～920℃的间；将该反应腔升压至100～560毫米汞柱；通入一含碳气体于该反应腔中；以及该催化剂催化该含碳气体产生多个碳原子，该碳原子在蒸气状态下彼此撞击形成一石墨薄片。
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