[发明专利]用于多探针STM的分时复用控制装置及多探针STM有效
| 申请号： | 201711090168.6 | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN107907712B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 郇庆;严佳浩;鲍丽宏;高鸿钧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/16 | 分类号： | G01Q60/16;G01Q60/10 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇;王博 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于多探针STM的分时复用控制装置及多探针STM，分时复用控制装置包括：与每个前置放大器的输出端相连的一个切换子单元，每个切换子单元连接至STM控制单元和对应的STM探针；与每个切换子单元相连的一个采样保持子单元；以及切换控制装置，其用于控制每个切换子单元将相连的前置放大器输出的电压信号输出至相连的一个采样保持子单元或STM控制单元，将相连的一个采样保持子单元输出的电压和/或STM控制单元输出的扫描管驱动电压输出至对应的STM探针的扫描管控制端，以及将STM控制单元输出的粗进针驱动电压输出至对应的STM探针的粗进针控制端。本发明实现STM控制单元的分时复用且减少了其数量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 探针 stm 分时 控制 装置 包括 | ||
【主权项】：
1.一种用于多探针STM的分时复用控制装置，所述多探针STM包括一个STM控制单元以及多个STM探针，所述多个STM探针的每一个与一个前置放大器相连，其特征在于，所述分时复用控制装置包括：与每个前置放大器的输出端相连的一个切换子单元，每个切换子单元连接至所述STM控制单元和对应的STM探针；与每个切换子单元相连的一个采样保持子单元；以及切换控制装置，其用于控制每个切换子单元将相连的前置放大器输出的电压信号输出至相连的一个采样保持子单元或所述STM控制单元，将相连的一个采样保持子单元输出的电压和/或所述STM控制单元输出的扫描管驱动电压输出至对应的STM探针的扫描管控制端，以及将所述STM控制单元输出的粗进针驱动电压输出至对应的STM探针的粗进针控制端；其中，每个所述采样保持子单元包括：第一采样装置，用于获得所述STM控制单元输出的扫描管驱动电压的电压数值；第二采样装置，用于获得与其相连的前置放大器的输出电压的电压数值；以及电压保持装置，用于根据所述第一采样装置获得的电压数值输出数值相等的保持电压，以及根据所述第二采样装置获得的电压数值输出用于控制对应的STM探针的针尖位置的定位电压。
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