[发明专利]用于吹扫氙灯的氮气流量控制系统及方法在审
| 申请号： | 201711091238.X | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN107943116A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 吴建晓 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司11252 | 代理人： | 周放,姜溯洲 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于吹扫氙灯的氮气流量控制系统及方法，该系统包括流量传感器；氙灯；流量控制阀；主控制器，用于当氮气流量低于设定的流量值时，向氙灯发出第一控制信号，使氙灯关闭，并向流量控制阀发出第二控制信号，使流量控制阀保持打开状态；用于当氮气流量大于或等于设定的流量值时，向氙灯发出第三控制信号，使氙灯打开；用于根据预设时间，向流量控制阀发出第四控制信号，使流量控制阀关闭。本发明提供的用于吹扫氙灯的氮气流量控制系统及方法，通过检测通入到芯片测试机中的氮气流量，当氮气流量达到预设的流量值，则可以使氙灯进行闪光，同时停止输入氮气，从而大大地降低了氮气的使用量，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 氙灯 氮气 流量 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于吹扫氙灯的氮气流量控制系统，其特征在于，包括：流量传感器，用于检测通入到芯片测试机中的氮气流量；氙灯；流量控制阀，设置在所述氮气的流通管路中，用于控制所述氮气的流通管路通断；主控制器，分别与所述流量传感器、所述氙灯和所述流量控制阀相连；所述主控制器用于当所述氮气流量低于设定的流量值时，向所述氙灯发出第一控制信号，以使所述氙灯关闭，并向所述流量控制阀发出第二控制信号，以使所述流量控制阀保持打开状态；所述主控制器还用于当所述氮气流量大于或等于设定的流量值时，向所述氙灯发出第三控制信号，以使所述氙灯打开；所述主控制器还用于根据预设时间，向所述流量控制阀发出第四控制信号，以使所述流量控制阀关闭。
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