[发明专利]一种带有极化诱导p型掺杂层的氮极性蓝紫光LED芯片及制备方法有效
申请号: | 201711092025.9 | 申请日: | 2017-11-08 |
公开(公告)号: | CN107978661B | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 张源涛;闫龙;邓高强;韩煦;李鹏翀 | 申请(专利权)人: | 吉林大学 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/14;H01L33/20;H01L33/32;H01L33/00 |
代理公司: | 22201 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人: | 刘世纯;王恩远 |
地址: | 130012 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种带有极化诱导p型掺杂层的氮极性蓝紫光LED芯片及制备方法,属于半导体发光器件技术领域。由(0001)面蓝宝石衬底、低温GaN缓冲层、氮极性GaN模板层、n‑GaN电子注入层、多量子阱有源层、极化诱导p型掺杂空穴注入层组成,其中氮极性GaN模板层中有SiN | ||
搜索关键词: | 一种 带有 极化 诱导 掺杂 极性 紫光 led 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种带有极化诱导p型掺杂层的氮极性蓝紫光LED芯片,其从下至上依次由具有一定的斜切角,斜切方向为偏
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