[发明专利]一种多晶硅制绒添加剂及其制绒方法在审
| 申请号： | 201711095210.3 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN108004597A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 赵美菊;韩方微;陈阳泉 | 申请（专利权）人： | 润峰电力有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 272000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种多晶硅制绒添加剂，包括含有硝酸、氢氟酸成分的制绒剂，所述制绒剂中添加有制绒抑制剂，所述制绒抑制剂中包含质量百分比为：二乙醇胺（CalBlend ECO‑1）5~10%，聚乙烯醇5~10%，二羧酸(C4‑C6)3~8%，去离子水70~85%的组分，本发明通过制绒抑制剂的添加进行选择性抑制腐蚀液对腐蚀坑侧壁的腐蚀，减缓腐蚀液对腐蚀坑侧壁的腐蚀，从而使蠕虫状结构腐蚀坑宽度减小，腐蚀坑更加细小密集（如附图），与现有技术相比，本发明制备的腐蚀坑较常规酸制绒蠕虫状结构腐蚀坑宽度降低1~2um，本发明通过抑制正电荷密度较小的腐蚀坑侧壁细化硅片表面蠕虫状腐蚀坑，从而降低硅片表面反射率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅制绒 添加剂 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅制绒添加剂，包括含有硝酸、氢氟酸成分的制绒剂，其特征在于所述制绒剂中添加有制绒抑制剂，所述制绒抑制剂中包含质量百分比为：二乙醇胺（CalBlend ECO-1）5~10%，聚乙烯醇5~10%，二羧酸(C4-C6)3~8%，去离子水70~85%的组分。
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