[发明专利]一种磁控溅射靶材用铝钕合金的制造方法在审
| 申请号： | 201711096566.9 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN107619972A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 吴本明;文宏福 | 申请（专利权）人： | 韶关市欧莱高新材料有限公司 |
| 主分类号： | C22C21/00 | 分类号： | C22C21/00;C22C1/03;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司44425 | 代理人： | 吴静芝 |
| 地址： | 512000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种磁控溅射靶材用铝钕合金的制造方法，制造方法分两步，第一步先以铝和钕为原料制备铝钕中间合金，第二步再以铝和铝钕中间合金为原料制备铝钕合金，由于铝钕中间合金熔点低、比重低、纯度高，与铝的理化性质更匹配，因此两者在熔炼过程中具有更好的配合协同作用，可以缩短熔化时间，克服飞溅和偏析等问题，减少污染，且提高铝钕合金纯度、减少杂质含量，通过本发明制得的铝钕合金纯度可以达到99.999％，从而铝钕合金质量得到提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 靶材用铝钕 合金 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射靶材用铝钕合金的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：将铝原料和钕原料装入熔炼炉内，进行加热熔化、精炼、浇铸，制得铝钕中间合金；S2：将步骤S1所得铝钕中间合金添加到铝原料中，装入熔炼炉内，进行加热熔化、精炼、浇铸，制得铝钕合金。
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