[发明专利]锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法有效
| 申请号： | 201711099311.8 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN107990838B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 唐锋;卢云君;王向朝;严焱;郭福东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、干涉仪支架、精密旋转台，和待测光学元件；所述的波面测量干涉仪输出准直光束，待测光学元件是锥镜或柱面镜，待测光学元件安装在精密旋转台上，其旋转对称轴与精密旋转台的旋转轴对齐；波面测量干涉仪出射光与待测光学元件的一条母线垂直，从而测得该母线的面形信息，通过精密旋转台扫描完成待测光学元件全表面测量。具有高精度、低成本、高通用性的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 柱面 镜面形 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种锥镜及柱面镜面形测量装置，其特征在于包括波面测量干涉仪(1)、干涉仪支架(2)和精密旋转台(3)，所述的波面测量干涉仪(1)安装在所述的干涉仪支架(2)上；待测光学元件(4)安装在所述的精密旋转台(3)上，使所述的待测光学元件(4)的旋转对称轴与所述的精密旋转台(3)的旋转轴对准；所述的波面测量干涉仪(1)输出准直光束，并具有平面参考光路；所述的干涉仪支架(2)具有带动所述的波面测量干涉仪(1)沿平行于精密旋转台(3)的旋转轴方向移动的调节机构，以及调节波面测量干涉仪(1)输出准直光束方向的调节机构，调整所述的波面测量干涉仪出射光与待测光学元件的一条母线垂直，使入射至该母线的光线沿原路返回，由所述的波面测量干涉仪接收并与参考光产生干涉信号，干涉信号是线状干涉图，使得干涉条纹数量最少且干涉条纹最宽。/n
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