[发明专利]基于稀土镍酸盐-铌掺杂钛酸锶的异质结材料及其传感器制备方法和应用

摘要

基于稀土镍酸盐‑铌掺杂钛酸锶的异质结材料及其传感器制备方法和应用，本发明属于传感器领域，它为了解决现有紫外光电探测器的响应速度较慢，未有同时兼具自驱动紫外光电传感器和位敏传感器材料器件的问题。该基于稀土镍酸盐‑铌掺杂钛酸锶的异质结材料具有p‑n结结构，在n型铌掺杂钛酸锶基片上采用激光脉冲沉积有厚度为5～20nm的p型镍酸盐氧化物层，其中的镍酸盐氧化物为镍酸钕、镍酸钐或镍酸钆。在该异质结表面镀有金电极制备传感器，此传感器能够应用于自驱动紫外光电探测器和位敏传感器中。本发明利用Nb:SrTiO₃半导体仅在紫外/近紫外光区响应的特点，其探测范围接近日盲区范围，且光电响应速度快。

主权项

1.基于稀土镍酸盐‑铌掺杂钛酸锶的异质结材料，其特征在于该基于稀土镍酸盐‑铌掺杂钛酸锶的异质结材料具有p‑n结结构，在n型铌掺杂钛酸锶基片上采用激光脉冲沉积有厚度为5～20nm的p型镍酸盐氧化物层，其中所述的p型镍酸盐氧化物为镍酸钕、镍酸钐或镍酸钆。