[发明专利]一种铝基燃料电池双极板表面复合涂层及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201711099972.0 申请日: 2017-11-09
公开(公告)号: CN108018529A 公开(公告)日: 2018-05-11
发明(设计)人: 蒋百铃;邵文婷;马俊;张新宇 申请(专利权)人: 南京工业大学
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/34;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/58;H01M4/86;H01M4/88
代理公司: 南京钟山专利代理有限公司 32252 代理人: 李小静
地址: 211816 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种铝基燃料电池双极板表面复合涂层的制备方法,包括以下步骤:(1)将基体在真空条件下进行等离子体清洗;(2)在清洗后的基体上离子溅射沉积一层纯Ti涂层;(3)在纯Ti涂层上离子溅射沉积一层TiN过渡层;(4)在TiN过渡层上沉积一层银掺杂TiN涂层;(5)保持真空条件不变,进行热处理,使银掺杂TiN涂层中的银在TiN涂层的界面处形成短小银线,并发生团聚。采用该方法制备的银掺杂TiN涂层中的银不会自发逸出至表面,并在TiN涂层的界面处形成短小银线,提高了TiN涂层的导电性,降低了其表面接触电阻,且产品的耐蚀性大幅提高,为燃料电池极板金属化提供理论基础和实验依据。
搜索关键词: 一种 燃料电池 极板 表面 复合 涂层 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种铝基燃料电池双极板表面复合涂层的制备方法,包括以下步骤:(1)将经前处理的基体置于装有Ti靶和Ag靶的真空腔内,在真空条件下进行等离子体清洗;(2)以Ti靶为蒸发源,以氩气为工作气体,在真空条件下采用离子镀工艺在经步骤(1)处理后的基体上沉积一层纯Ti涂层;(3)以Ti靶为蒸发源,以氩气和氮气为工作气体,在真空条件下采用离子镀工艺在步骤(2)所得的纯Ti涂层上沉积一层TiN过渡层;(4)以Ti靶和Ag靶为蒸发源,以氩气和氮气为工作气体,在真空条件下采用离子镀工艺在步骤(3)所得的TiN过渡层上沉积一层银掺杂TiN涂层;(5)保持真空条件不变,对经步骤(4)处理后的基体进行热处理,使银掺杂TiN涂层中的银在TiN涂层的界面处形成短小银线,并发生团聚。
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