[发明专利]衍射光学元件和干涉测量方法有效
| 申请号： | 201711103826.0 | 申请日： | 2013-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107816939B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | J.赫茨勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张邦帅;邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种衍射光学元件(50)，具有基板(52)和布置在其上的衍射结构图案(54)。所述衍射结构图案构造为将辐射至其上的平面或球面输入波(42)转换为：1)至少四个分离的输出波，其中，所述输出波中的至少一个是非球面波，所述输出波中的至少另外一个是球面波(58；70)，所述输出波中的至少另外两个分别是平面波(60)或球面波(72，74)；2)至少三个分离波，其中的至少一个是非球面波，另外两个是球面或平面波；3)至少三个球面波。衍射光学元件用在干涉测量方法和装置中，用于确定光学元件的光学表面的实际形状与预期形状的偏离。光学元件制造成具有光学表面，用上述方法和装置测量的光学表面与预期形状的偏离位于预定水平之下。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 干涉 测量方法 | ||
【主权项】：
一种用于确定光学元件的光学表面的实际形状与预期形状的偏差的方法，包含以下步骤：‑产生输入波；‑将衍射光学元件布置在所述输入波的光束路径中，使得通过与所述衍射光学元件的相互作用将所述输入波转换为至少测量波，所述测量波适配于所述光学表面的预期形状，并且在衍射光学元件处以Littrow反射从输入波产生参考波；‑将所述光学表面布置在适配的测量波的光束路径中，并且使用参考波作为参考通过干涉测量在与所述光学表面相互作用之后测量所适配的测量波的波前。
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