[发明专利]一种PCVD沉积过程中防堵稳压的方法在审
| 申请号： | 201711103929.7 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN107879618A | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张欣;朱继红;汪洪海;周新艳;胡俊中 | 申请（专利权）人： | 长飞光纤光缆股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司42102 | 代理人： | 胡建平 |
| 地址： | 430073 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种PCVD沉积过程中防堵稳压的方法，用玻璃衬管为基管，装夹于PCVD沉积机床上，衬管穿过微波谐振腔并置于保温炉内，两端由旋转夹头装夹，谐振腔产生高频功率沿衬管轴向往复移动进行PCVD沉积，参与沉积的混合气体从衬管的一端进入管内，衬管的另一端为排气端，排气端通过管道连接真空泵，在衬管排气端内安设一石英玻璃集尘插管，集尘插管外径与衬管内孔相配置，嵌入衬管排气端，收集沉积于排气端的粉尘，其特征在于在集尘插管内放置一根柱状玻璃滚动棒，玻璃滚动棒随集尘插管的旋转而滚动，通过滚动去除附着在集尘插管内壁的粉尘颗粒。本发明能避免大小颗粒粉尘在衬管排气端的堆积，稳定沉积过程中的管内压力，保持了PCVD沉积的连续运行，从而提高沉积质量和沉积加工的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pcvd 沉积 过程 中防堵 稳压 方法 | ||
【主权项】：
一种PCVD沉积过程中防堵稳压的方法，用玻璃衬管为基管，装夹于PCVD沉积机床上，衬管穿过微波谐振腔并置于保温炉内，两端由旋转夹头装夹，谐振腔产生高频功率沿衬管轴向往复移动进行PCVD沉积，参与沉积的混合气体从衬管的一端进入管内，衬管的另一端为排气端，排气端通过管道连接真空泵，在衬管排气端内安设一石英玻璃集尘插管，集尘插管外径与衬管内孔相配置，嵌入衬管排气端，收集沉积于排气端的粉尘，其特征在于在集尘插管内放置一根柱状玻璃滚动棒，玻璃滚动棒随集尘插管的旋转而滚动，通过滚动去除附着在集尘插管内壁的粉尘颗粒。
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