[发明专利]一种非接触式自驱动电子皮肤及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201711104078.8 申请日: 2017-11-10
公开(公告)号: CN107941246B 公开(公告)日: 2019-11-22
发明(设计)人: 张海霞;吴瀚翔;苏宗明;师马跃;缪立明;宋宇;陈号天 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: G01D5/12 分类号: G01D5/12;G06F3/01;H01L51/00
代理公司: 11255 北京市商泰律师事务所 代理人: 黄晓军<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 100871 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种非接触式自驱动电子皮肤,涉及传感器和电子皮肤技术领域,包括有摩擦层薄膜,摩擦层薄膜表面均匀设有若干微结构摩擦单元;隔离保护层,隔离保护层的下表面连接有柔性衬底,柔性衬底与隔离保护层之间夹装有电极;隔离保护层上设有能够使所述摩擦层薄膜在受到外界压力时与所述柔性衬底层相互接触的接触区。本发明可实现多种运动方式的交互传感,接触分离过程使摩擦层薄膜带电,之后摩擦层薄膜可不与隔离保护层、电极、柔性衬底组成的三层结构接触而在其上空滑动,滑动的位移终点坐标可以通过分析电极接收到的电信号得到;采用自驱动的传感方式,制备工艺简单方便,可根据实际需要快捷的调整工艺参数,生产成本低,适于批量生产。
搜索关键词: 一种 接触 驱动 电子 皮肤 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种非接触式自驱动电子皮肤,其特征在于,包括:/n摩擦层薄膜(1),所述摩擦层薄膜(1)表面均匀设有若干微结构摩擦单元(2);/n隔离保护层(3),所述隔离保护层(3)的下表面连接有柔性衬底(4),所述柔性衬底(4)与所述隔离保护层(3)之间夹装有电极(5);所述隔离保护层(3)上设有能够使所述摩擦层薄膜(1)在受到外界压力时与所述柔性衬底层(4)相互接触的接触区;摩擦层薄膜通过接触区与柔性衬底摩擦产生电荷后,摩擦层薄膜可不再与隔离保护层-电极-柔性衬底三层结构相接触,而是在三层结构的上空滑动。/n
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