[发明专利]一种DES线显影喷嘴装置及显影方法在审
| 申请号： | 201711105301.0 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN107976874A | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 胡荫敏;姜雪飞;陈波;刘东 | 申请（专利权）人： | 江门崇达电路技术有限公司;深圳崇达多层线路板有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所44242 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 529000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及印刷电路板领域,具体为一种DES线显影喷嘴装置及显影方法，包括喷管、喷嘴座和若干喷嘴，所述喷嘴座设置在喷管上，各所述喷嘴均倾斜设置在喷嘴座上。本发明将喷嘴倾斜设置，使得在喷管降低的情况下，还能够保证喷嘴喷洒的距离，使得喷嘴喷洒的液体有足够的距离打开变成均匀的小液珠，提高了显影液喷洒到基板上的均匀度，进而保证了显影液喷洒到基板的实际有效区域，杜绝了显影不净的问题，提升显影效率，保证显影效果。本发明不需要改变现有设备的整体结构，不改变设备的操作方式，即可将显影效率提升30％，具有极高的市场应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 des 显影 喷嘴 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种DES线显影喷嘴装置，其特征在于：包括喷管、喷嘴座和若干喷嘴，所述喷嘴座设置在喷管上，各所述喷嘴均倾斜设置在喷嘴座上。
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