[发明专利]基于Black phosphorus材料的SPPs效应纳米谐振腔及其制作方法

摘要

本发明公开了一种基于Black phosphorus材料的SPPs效应纳米谐振腔及其制作方法，解决长期存在于光学吸收与吸收层厚度之间的矛盾关系。包括反射层、空间损耗层、吸收层和纳米多孔层。反射层采用金属Al材料；空间损耗层采用Al2O3材料；吸收层采用二维材料黑磷；纳米多孔层采用金属Ag材料；纳米多孔层、吸收层、空间损耗层、反射层依次由上而下竖直分布。本发明通过黑磷材料的应用，增强了光学吸收，同时纳米多孔层的引入，在Ag/Black phosphorus界面处形成明显的SPPs效应，进一步提高吸收增益，拓展了吸收光谱，提升了光伏器件的整体性能，进而推动超薄能量捕获和转换应用的发展。

主权项

1.基于Black phosphorus材料的SPPs效应纳米谐振腔，包括：反射层(1)、空间损耗层(2)、吸收层(3)及纳米多孔层(4)；纳米多孔层(4)、吸收层(3)和空间损耗层(2)在反射层(1)上依次由上至下竖直分布，从而形成由上而下的多层结构,其特征在于：反射层(1)采用金属Al材料、空间损耗层(2)采用Al2O3材料、吸收层(3)采用二维材料黑磷及纳米多孔层(4)采用金属Ag材料，从而在纳米多孔层Ag与吸收层黑磷界面形成强烈的SPPs效应，增强了光学吸收。