[发明专利]一种动态形变可控微镜镜面梳齿结构及其加工方法有效
| 申请号： | 201711105438.6 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN107976871B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 虞传庆;王鹏;陈文礼;王宏臣;孙丰沛;董珊 | 申请（专利权）人： | 无锡英菲感知技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种动态形变可控微镜镜面梳齿结构及其加工方法，包括如下步骤：步骤一，准备晶圆；步骤二，形成微镜镜面、静梳齿和动梳齿的平面排布区；步骤三，覆盖所述步骤二中形成的缝隙；步骤四，露出包含动梳齿、微镜镜面和联通所述动梳齿的焊盘区域的第一区域；步骤五，刻蚀掉所述第一区域下的第一单晶硅器件层和第一绝缘层；步骤六，在晶圆表面选择性沉积金属层；步骤七，反转晶圆，在衬底层底面形成掩膜，深度刻蚀以蚀穿所述衬底层。本发明使用双硅器件层的SOI晶圆加工垂直梳齿，无需采用晶圆键合工艺，降低加工难度，提高了成品率。动静梳齿对的定义只需一次光刻，避免了分步光刻时的对位误差问题，使加工形貌尽可能地逼近设计样式。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 形变 可控 微镜镜面 梳齿 结构 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种动态形变可控微镜镜面梳齿结构的加工方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤一，准备晶圆，所述晶圆包括五层结构，依次为:第一单晶硅器件层，第一绝缘层、第二单晶硅器件层、第二绝缘层和衬底层；步骤二，形成微镜镜面、静梳齿和动梳齿的平面排布区；步骤三，覆盖所述步骤二中形成的缝隙；步骤四，露出包含动梳齿、微镜镜面和联通所述动梳齿的焊盘区域的第一区域；步骤五，刻蚀掉所述第一区域下的第一单晶硅器件层和第一绝缘层；步骤六，在晶圆表面选择性沉积金属层；步骤七，反转晶圆，在所述衬底层底面形成掩膜，深度刻蚀以蚀穿所述衬底层；去除第二绝缘层，以释放所述微镜的可动部分。
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