[发明专利]应用于黄光工艺的显影方法和治具结构有效
| 申请号： | 201711105942.6 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN109782539B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 饶桥兵;王弦 | 申请（专利权）人： | 蓝思科技（长沙）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/30;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 史明罡 |
| 地址： | 410100 湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种应用于黄光工艺的显影方法和治具结构，涉及黄光工艺显影技术领域。该应用于黄光工艺的显影方法包括将玻璃物料放入治具结构中进行油墨喷涂；通过曝光将第一光罩上的图案投影到所述玻璃物料上，所述第一光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓外扩；利用显影液进行显影，以将所述玻璃物料飞溅的油墨显影干净。本发明在进行油墨喷涂前将玻璃物料通过治具结构固定，油墨飞溅到非喷涂面的量较少；再通过外扩第一光罩的图案使玻璃物料油墨喷涂的面上完全受到光照，最后利用显影液将油墨显影干净，降低了边面油形成的概率。本发明解决了现有技术中存在的易形成了边面油技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 工艺 显影 方法 结构 | ||
【主权项】：
1.一种应用于黄光工艺的显影方法，其特征在于，包括：步骤a，将玻璃物料放入治具结构中进行油墨喷涂；步骤b，通过曝光将第一光罩上的图案投影到所述玻璃物料上，所述第一光罩上的图案相对于所述玻璃物料的外轮廓外扩；步骤c，利用显影液进行显影，以将所述玻璃物料飞溅的油墨显影干净。
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