[发明专利]校正压力传感器的方法和设备有效
| 申请号： | 201711106267.9 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN108072487B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | N.V.卡申科;J.H.霍夫曼;D.E.瓦格纳 | 申请（专利权）人： | 测量专业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00;G01L13/02;G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 葛青 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 差压传感器包括一个或多个半导体管芯，半导体管芯在管芯的部分处减薄，以形成限定敏感膜片的腔室，压阻元件限定在膜片表面处。第一膜片与第一膜片的上表面上的第一流体流体连通，并且与第一膜片的下表面上的第二流体流体连通。第二膜片在第二膜片的上表面和下表面处与环境压力流体连通。对应于第二膜片的压阻元件电连接到第一膜片的压阻元件，以相对于第一膜片的输出补偿第二膜片的输出。 | ||
| 搜索关键词： | 校正 压力传感器 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，包括：第一压力感测管芯，其包括半导体材料并具有第一敏感膜片；第二压力感测管芯，其包括半导体材料并具有第二敏感膜片；和容置所述第一压力感测管芯和所述第二压力感测管芯的壳体，所述壳体容置处于第一压力下且与所述第一压力感测管芯的第一敏感膜片的第一表面流体连通的第一流体、以及处于第二压力下且与所述第一压力感测管芯的第一敏感膜片的第二表面流体连通的第二流体，并且其中，所述第二压力感测管芯的第二敏感膜片的第一和第二表面与第三压力下的第三流体流体连通。
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