[发明专利]一种磁性悬浮电极介质阻挡弥散放电等离子体发生装置有效
| 申请号： | 201711107912.9 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN107864544B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 张冠军;姚聪伟;虞春艳;陈思乐;李平;许桂敏;穆海宝;常正实;孙安邦 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 闵岳峰 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明一种磁性悬浮电极介质阻挡弥散放电等离子体发生装置，包括聚四氟乙烯支架，该聚四氟乙烯支架的底部中心处自下而上依次设置有磁性接地电极、微孔陶瓷和磁性悬浮电极，该聚四氟乙烯支架的顶部中心处自上而下依次设置有高压电极和氧化铝陶瓷阻挡介质；其中，磁性悬浮电极和氧化铝陶瓷阻挡介质之间留有间隙。工作时，交流电源驱动下，本发明将产生由多点到面的负极性弥散放电，高压侧成为瞬态阴极，可聚集大量活性粒子。本发明通过在阻挡介质表面设置磁性铁粉末，在阻挡介质表面制造大量三结合点，获得弥散放电等离子体；放电过热时，铁粉可熔化带走热量保护阻挡介质材料。本发明可作为薄膜、绝缘子等材料表面改性方面的等离子体发生装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁性 悬浮 电极 介质 阻挡 弥散 放电 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
1.一种磁性悬浮电极介质阻挡弥散放电等离子体发生装置，其特征在于，包括聚四氟乙烯支架(5)，该聚四氟乙烯支架(5)的底部中心处自下而上依次设置有磁性接地电极(2)、微孔陶瓷(8)和磁性悬浮电极(3)，该聚四氟乙烯支架(5)的顶部中心处自上而下依次设置有高压电极(1)和氧化铝陶瓷阻挡介质(4)；其中，磁性悬浮电极(3)和氧化铝陶瓷阻挡介质(4)之间留有间隙，该间隙取值为5～20mm；磁性悬浮电极(3)由微米级磁性铁粉末构成，平均厚度为1mm，并通过磁性接地电极(2)吸附于地电极侧，呈毛刺状；工作时，高压电极(1)接高电压交流电源，磁性接地电极(2)接地，在高电压交流电源作用下，放电等离子体将在氧化铝陶瓷阻挡介质(4)与磁性悬浮电极(3)之间产生。
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