[发明专利]半导体传感器及芥子气或者芥子气模拟剂气体的定量检测方法有效
申请号: | 201711107943.4 | 申请日: | 2017-11-10 |
公开(公告)号: | CN108195891B | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 王学峰;左国民;高适;张顺平;李丹萍;张立功;张荣;王宁;陈俊祥;郭辉 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军陆军防化学院 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 王赛 |
地址: | 102205 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种半导体传感器,包括敏感材料层,所述敏感材料层包括三氧化钨,所述半导体传感器用于定量检测芥子气或芥子气模拟剂气体。本发明还提供一种芥子气或芥子气模拟剂气体的定量检测方法,包括提供所述的任意一种半导体传感器;将所述半导体传感器的敏感材料层暴露在被检测的芥子气或者芥子气模拟剂气体氛围中,加热所述半导体传感器,获取所述半导体传感器在所述被检测的芥子气或者芥子气模拟剂气体氛围中的第一响应值;以及根据获取的所述第一响应值计算所述被检测的芥子气或者芥子气模拟剂气体的浓度。 | ||
搜索关键词: | 半导体 传感器 芥子气 或者 模拟 气体 定量 检测 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体传感器,其特征在于,包括敏感材料层,所述敏感材料层包括三氧化钨,所述半导体传感器用于定量检测芥子气或者芥子气模拟剂气体。
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