[发明专利]一种用于硅基材料加工的混合式等离子体发生器

摘要

一种用于硅基材料加工的混合式等离子体发生器，其主要由直流等离子体发生器和射频感应耦合等离子体发生器两部分组成；所述的直流等离子体发生器主要由阴极部分、引弧外壳、第一阳极体、阳极外壳、第二阳极部分、第一绝缘套、第二绝缘套组成；所述射频感应耦合等离子体发生器主要由石英玻璃管、感应线圈组成；所述的阴极部分主要由阴极座和阴极头组成；所述的第一阳极体上端面与引弧外壳连接，下端面与第二绝缘套连接；所述第二阳极部分由阳极头和阳极尾盖组成；所述第一绝缘套内壁与阴极座配合，外壁与引弧外壳配合。本装置在线圈磁场的作用下二次激发电弧等离子体射流，提高反应活性粒子的激发效率，对于硅基材料的加工速率有很大提升。

主权项

一种用于硅基材料加工的混合式等离子体发生器，主要由直流等离子体发生器和射频感应耦合等离子体发生器两部分组成，其特征在于：所述的直流等离子体发生器主要由阴极部分、引弧外壳、第一阳极体、阳极外壳、第二阳极部分、第一绝缘套、第二绝缘套组成；所述射频感应耦合等离子体发生器主要由石英玻璃管、感应线圈组成；所述的阴极部分主要由阴极座和阴极头组成；所述的第一阳极体上端面与引弧外壳连接，下端面与第二绝缘套连接；所述阳极外壳上部端面接有第二阳极体接线柱，所述第二阳极部分由阳极头和阳极尾盖组成；所述第一绝缘套内壁与阴极座配合，外壁与引弧外壳配合；第二绝缘套由薄壁段和射流接触段两部分组成；所述的第一阳极体上端面与引弧外壳配合，下端面与第二绝缘套的旋气段上端面配合，作用是隔离工作气体和阴极部分，避免工作气体激发产生的反应活性粒子腐蚀阴极部分；所述阳极头外圆柱面设有螺纹，用于与上述阳极外壳内壁螺纹连接；上部端面设有第三环形分气室，用于和阳极尾盖中的孔道连通，阳极头下部端面设有一石英玻璃管安装腔，石英玻璃管安装腔的内圆柱面上设有旋气槽，用于使冷却气在石英玻璃管内壁形成涡流，避免因高温而熔化。