[发明专利]一种晶片清洗及干燥用花篮装置

摘要

本发明公开了一种晶片清洗及干燥用花篮装置，包括：花篮外框(3)，在所述花篮外框(3)的内部设置多个相向设置的固定槽(31)，以上固定槽(31)与晶片夹持装置相配合，所述晶片夹持装置包括第一晶片夹持片(101)和第二晶片夹持片(102)，两者之间夹有晶片(2)，所述第一晶片夹持片(101)的至少两个面设置有凸起部，且以上第二晶片夹持片(102)被夹在以上凸起部内，由此两个夹持片稳定无晃动。 1

主权项

1.一种晶片清洗及干燥用花篮装置，包括：花篮外框(3)，在所述花篮外框(3)的内部设置多个相向设置的固定槽(31)，以上固定槽(31)与晶片夹持装置相配合，其特征在于，所述晶片夹持装置包括第一晶片夹持片(101)和第二晶片夹持片(102)，两者之间夹有晶片(2)，所述第一晶片夹持片(101)的至少两个面设置有凸起部，且以上第二晶片夹持片(102)被夹在以上凸起部内，由此两个夹持片稳定无晃动。

2.根据权利要求1所述的晶片清洗及干燥用花篮装置，其特征在于，所述花篮夹具内部为圆形，尺寸为三寸，外部为椭圆形。

3.根据权利要求1或2所述的晶片清洗及干燥用花篮装置，其特征在于，晶片夹持装置与花篮外框属于面接触。