[发明专利]高输出稳定性的压阻式三轴加速度计

摘要

本发明公开了一种具有高输出稳定性的压阻式三轴加速度计，包括SOI基片、上玻璃盖板和下玻璃盖板，中心质量块通过八个矩形梁支撑在回形边框上。在梁上的每个压敏电阻四周都通过离子注入磷元素进行重掺杂，通过一个焊盘接入一个不低于惠斯通电桥供电电压的电势，避免了压敏电阻条的漏电现象，实现了压阻式加速度计的输出的稳定性。

主权项

一种高输出稳定性的压阻式三轴加速度计，包括SOI基片（1），所述SOI基片（1）由中部敏感质量块（4）、八个矩形梁（5）和回形边框（6）组成，所述敏感质量块（4）每边通过两个平行的矩形梁（5）与回形边框（6）连接；每个矩形梁（5）上在靠近中心质量块（4）和回形边框（6）的一端各有一个压敏电阻（7），每个压敏电阻（7）通过金属引线（10）与位于回形边框（6）上的焊盘（3）电气连接；所述SOI基片（1）的器件层与玻璃片（2）键合，SOI基片（1）的衬底层与玻璃片（2）键合；其特征在于：每个压敏电阻（7）的四周区域离子注入磷元素形成相互连接的N+重掺杂区域（9）后通过金属引线（10）与位于回形边框（6）上的焊盘（3）电气连接；加速度计工作时N+重掺杂区域（9）接入不低于惠斯通电桥供电电压的电势。