[发明专利]压电元件以及压电元件应用装置有效
申请号: | 201711114556.3 | 申请日: | 2017-11-13 |
公开(公告)号: | CN108068458B | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 一色铁也;两角浩一 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J2/045 | 分类号: | B41J2/045 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;苏萌萌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种能够很容易地实施取向控制以及组成控制,并且使用了由具有优异的压电特性的KNN类复合氧化物构成的压电薄膜材料的压电元件以及压电元件应用装置。压电元件具备第一电极、第二电极、以及被配置在第一电极与第二电极之间的压电体层,压电体层为,包含钾、钠、铌,且包含优选取向为(100)面的钙钛矿型复合氧化物的薄膜,在钙钛矿型复合氧化物的结晶结构中包含具有氧八面体的基本晶格结构和氧八面体倾斜了的超晶格结构。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 以及 应用 装置 | ||
【主权项】:
1.一种压电元件,其特征在于,具备第一电极、第二电极、以及被配置在所述第一电极与所述第二电极之间的压电体层,所述压电体层为,包含钾、钠、铌,且包含优先取向为(100)面的钙钛矿型复合氧化物的薄膜,在所述钙钛矿型复合氧化物的结晶结构中包含具有氧八面体的基本晶格结构和所述氧八面体倾斜了的超晶格结构。
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