[发明专利]MEMS感测元件和导线接合部的密封有效
| 申请号： | 201711115978.2 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN108072483B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·莫辛克;洛伦佐·赖卡 | 申请（专利权）人： | 森萨塔科技公司 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王小衡;杨生平 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种MEMS传感器100，包括：限定与用于感测的环境流体连通的内部104和入口的的外壳102、被耦合到外壳102以用于基于环境生成信号的感测冲模116，密封剂124被施加到感测冲模116以保护感测冲模116而不干扰感测冲模116的操作，其特征在于，密封剂124是具有有机主链的非交联物质和二氧化硅增稠剂的组合物。 | ||
| 搜索关键词： | mems 元件 导线 接合部 密封 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS传感器100，包括：外壳102，限定与具有用于感测的环境流体连通的内部104和入口；感测冲模116，被耦合到所述外壳102以用于基于所述环境生成信号；密封剂124，被施加到所述感测冲模116以保护所述感测冲模116而不干扰所述感测冲模116的操作，其特征在于，所述密封剂124是包含具有有机主链的非交联物质和二氧化硅增稠剂的组合物。
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