[发明专利]镀膜装置有效
| 申请号： | 201711118432.2 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN107675139B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 黄国兴;王旭;万志 | 申请（专利权）人： | 赫得纳米科技(昆山)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/10 |
| 代理公司： | 11371 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘锋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镀膜装置，涉及镀膜的技术领域，包括治具和支撑机构；治具覆盖于需要镀膜的基板外壳的内侧壁，且治具与内侧壁可拆卸连接；连接有需要镀膜的基板外壳的治具挂设于支撑机构，用于防止镀膜时镀膜材料喷溅到内侧壁。本发明提供的镀膜装置能够有效避免AF薄膜材料溢镀到外壳内侧壁，解决了由于溢镀所造成的后续工艺困难及导电不良的问题，且镀膜装置结构简单、灵活可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 治具 镀膜装置 内侧壁 基板外壳 支撑机构 可拆卸连接 外壳内侧壁 薄膜材料 镀膜材料 后续工艺 导电 挂设 灵活 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜装置，其特征在于，包括：治具(100)和支撑机构(200)；/n所述治具(100)覆盖于需要镀膜的基板外壳(300)的内侧壁，且所述治具(100)与所述内侧壁可拆卸连接；/n连接有所述需要镀膜的基板外壳(300)的所述治具(100)挂设于所述支撑机构(200)，用于防止镀膜时镀膜材料喷溅到所述内侧壁；/n所述治具(100)的中部为镂空结构；/n所述支撑机构(200)为滚筒(210)，所述滚筒(210)可绕竖直方向的自身轴线转动，以带动所述治具(100)和连接在所述治具(100)上的所述需要镀膜的基板外壳(300)一同转动；所述滚筒(210)的侧面为多个平面连接而成；所述治具(100)挂设于所述滚筒(210)的平面，所述平面大于所述需要镀膜的基板外壳(300)。/n
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