[发明专利]一种柔性电子压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201711119325.1 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN107898463B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 朱玲;房菲儿;张静;王威 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | A61B5/08 | 分类号： | A61B5/08 |
| 代理公司： | 深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙) 44357 | 代理人： | 赵文曲 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种柔性电子压力传感器及其制备方法，其中，柔性电子压力传感器包括若干个压力传感单元；压力传感单元由两片基板、相对设置于两片基板之间的两片电极，以及设置于两片电极之间的复合压力传感膜组成；基板的表面采用微图案处理设有荷叶微图案，且基板具有柔性、可伸缩特性；复合压力传感膜由若干聚苯胺中空纳米球和用于连接相邻聚苯胺中空纳米球的多壁碳纳米管组成；各压力传感单元利用等离子体处理机并采用电极像素处理以形成呈设定面积的传感器阵列，本发明的复合压力传感膜具有突出的弹性能力和超低的弹性模量，可对各种外界刺激进行有效的放大和转换，对压力感应强且温度分辨率高；另外，单个压力传感单元可以很容易地集成传感器阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 电子 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性电子压力传感器，其特征在于，包括若干个压力传感单元；所述压力传感单元由两片基板、相对设置于两片基板之间的两片电极，以及设置于两片电极之间的复合压力传感膜组成；所述基板的表面采用微图案处理设有荷叶微图案，且基板具有柔性、可伸缩特性；所述复合压力传感膜由若干聚苯胺中空纳米球和用于连接相邻聚苯胺中空纳米球的多壁碳纳米管组成；各压力传感单元利用等离子体处理机并采用电极像素处理以形成呈设定面积的传感器阵列。
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